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Das Plasmasystem FG1-01

Das Plasmasystem FG1-01

Das Plasmasystem FG1-01 ist die integrierte Lösung für Anwendungen, in denen mehrere PB3-Plasmasysteme erforderlich sind. Die PS2000® Stromquellen, die für die Plasmaerzeugung notwendig sind, werden durch das übergeordnete System gesteuert. Die Anlage ermöglicht eine Echtzeit-Datenerfassung der Grundparameter genauso wie das Abfangen möglicher Fehler über den internen Notkreis. Die Daten werden am HMI visualisiert und sind jederzeit für den Operator einsehbar. Die Vorwahl unterschiedlicher Plasma-Rezepturen stellt sicher, dass mit einer Anlage mehrere Prozesse gefahren werden können und die jeweils zugehörigen Prozessparameter korrekt sind. Die unterschiedlichen Benutzerebenen lassen einzelne Einstellung zu.

Die Lösung für die Steuerung mehrerer plasmabrush® PB3 Systeme.

Der Plasmaturm - Steuerung mehrerer Anlagen

Einfache Steuerung mehrere Systeme – das Plasmasystem FG1-01

Zudem wird der Gasfluss der Plasmaeinheiten über integrierte Mass Flow Controler (MFC) kontrolliert und geregelt. Es besteht die Möglichkeit das Plasmasystem FG1-01 für verschiedene Gase zu optimieren.

Wichtig ist dabei dass die Kommunikation robust und Fehlerfrei funktioniert. Die CAN- Bus Umgebung ermöglicht bis zu 99 Adressen je Knoten und Übertragungsraten von 500 kbit/s bis 1 Mbit/s. Zusätzlich ist diese Kommunikation gegenüber elektromagnetischen Störsignalen durchaus stabil.

Bei der Herstellung des Produktes wurden u.a. EMV-Richtlinie 2004/108/EG und VDE Bestimmungen eingehalten.

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